通河县招商引资网讯：硅片机器人是在集成电路制造业中, 取代人来完成传输硅片的工业机器人。它产生于20 世纪80年代的日本、美国等发达国家, 可以实现硅片在不同工位之间的快速、高效和可靠的转移, 与传统的工业机器人相比, 具有高速度、高精度、高稳定性和高洁净度的特点。

尽管我国的IC 产业得到了迅速发展, 但用于IC制造的半导体装备主要依靠进口, IC 制造装备的研究也是刚刚起步。因此, 研究硅片机器人传输系统等IC 制造装备对发展我国的IC 产业意义重大。

二、市场背景

硅片传输机器人属于前端设备中的关键性零组件，其余关键设备的正常运行都少不了硅片的传输，可见其在半导体行业领域中的重要性，因此半导体领域的市场前景在一定程度上可以代表硅片传输机器人的市场应用前景。全球IC 产业向我国的迁移促进了我国半导体市场的发展。研制具有自主知识产权的IC装备将使我国半导体产业更具有竞争力。在半导体产业不断迅猛发展的大环境下，目前半导体行业中所采用的硅片传输机器人90%以上均以来进口。作为半导体产业中不可缺少的硅片传输机器人的市场前景不可限量。

三、技术成熟度

目前，通过几年在IC领域内对硅片传输机器人的研究，积累出一系列的关键技术以及应用经验，培养了相应的技术团队。其中已经申请了相关专利20余项，开发了具有自主知识产权的硅片传输机器人的专用硬件控制器及应用软件，完全具备非标硅片传输机器人的自主设计能力。

四、研发周期

对于一个具体的需求，我们从接单到工程样机开发的周期根据工程难度的大小一般在8-12个月。对于成型产品的局部修改的研发周期一般在3-6个月，满足产业化需求。

五、经济效益预测

由市场分析我们可以得到如下结论：国际半导体产业正在迅速的增长，而国际半导体产业的中心将向中国转移，而目前半导体行业中所采用的硅片传输机器人90%以上均以来进口。建成一条300mm晶圆的代工厂需要硅片传输机器人约2000台，而目前我国的IC产线已经接近100条，而且仍然在不断增长，而国内硅片传输机器人的平均年需求量将在10000台左右，由于绝大部分采用进口机器人，但剩下的市场也有2000台左右，而且随着国内技术水平的增长以及IC领域的竞争，国产硅片传输机器人代替进口机器人也将成为必然。高端进口硅片传输机器人的产品价格一般在30-80万之间不等，而国产硅片传输机器人价格一般在10-20万之间不等，在价格上具有一定的优势，而高科技产品的利润值相对较高，所以预计年平均效益在1000万元左右。